邁克爾遜干涉儀，是1881年美國物理學家邁克爾遜和莫雷合作，為研究“以太”漂移而設計制造出來的精密光學儀器。它是利用分振幅法產生雙光束以實現干涉。通過調整該干涉儀，可以產生等厚干涉條紋，也可以產生等傾干涉條紋。主要用于長度和折射率的測量，若觀察到干涉條紋移動一條，便是M2的動臂移動量為λ/2，等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變λ/2。在近代物理和近代計量技術中，如在光譜線精細結構的研究和用光波標定標準米尺等實驗中都有著重要的應用。利用該儀器的原理，研制出多種專用干涉儀。

　　干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。

　　影響干涉儀測量精度的主要因素：

　　1. 頻率穩定性：在干涉儀中，將波長作為長度基準，頻率變化直接影響測量結果。

　　2. 大氣折射率。

　　3. 死程誤差：在零位時，干涉儀兩相干光的還有一段光程差，這一段光程差稱為死程。死程的變化會引起測量誤差，死程誤差是干涉儀的一項重要誤差。

　　4. 余弦誤差：在測定三坐標測量機的定位誤差時，需仔細調整，使光束與滑座的運動方向平等。

　　5. 脈沖當量誤差：干涉儀顯示的最小一個數所對應的量值稱為脈沖當量。

　　6. 細分誤差：在干涉條紋一個周期內，由插細分不均勻引起的誤差。

　　7. 阿貝誤差：為避免阿貝誤差，需將角隅棱鏡的頂點調整到所測的直線上，否則由于滑座的角運動誤差引起阿貝誤差。